Invisix haalt 20 miljoen euro op voor metrologie op basis van ASML-technologie
Invisix, opgericht door voormalige ASML-medewerkers, haalt 20 miljoen euro op bij investeerders voor de ontwikkeling van geavanceerde meetinstrumenten voor halfgeleiderproductie. Onder meer Hitachi Ventures, Transition Ventures, imec.xpand, Doosan Investment Co. en een halfgeleiderproducent steken geld in Invisix. Het geld wordt gebruikt voor teamuitbreiding, versnelling van de productontwikkeling en klantdemonstraties in een nieuwe cleanroom in Eindhoven.
Het systeem van Invisix is een soft-x-ray-metrologiesysteem dat chipfabrikanten helpt om de meest uitdagende lagen van geavanceerde halfgeleiders te meten op grote schaal. Het maakt gebruik van High Harmonic Generation (HHG), een techniek die in 2023 de Nobelprijs voor Natuurkunde ontving. Hiermee kunnen chipfabrikanten de interne structuren van geavanceerde chips meten, die optische instrumenten niet meer kunnen detecteren. Het bedrijf combineert HHG met eigengemaakte algoritmen en machine learning om gedetailleerde 3D-beelden te reconstrueren, zonder de chips te beschadigen.
Invisix past dezelfde resolutielogica toe die ASML gebruikte om de halfgeleiderlithografie te revolutioneren. Het bedrijf heeft een technologiepakket gelicentieerd dat is gebaseerd op soft-x-ray-onderzoek bij ASML. Het team bestaat uit ervaren medewerkers van het ASML soft-x-ray-programma en senior specialisten uit de industrie.
Technologie eerder al gedemonstreerd
In 2023 demonstreerde Invisix zijn technologie al in samenwerking met Intel en imec. Het bedrijf meet succesvol sleutelkenmerken in next-generation transistorarchitecturen. Onlangs is de soft-x-ray-testbank voor 300mm-wafers verplaatst naar een nieuwe cleanroom in Eindhoven, waar klantdemonstraties en productontwikkeling parallel zullen plaatsvinden. De technologie van Invisix biedt een niet-destructieve, schaalbare oplossing voor de uitdagingen in de halfgeleiderproductie.
Meer over Financieel
Over Wouter Hoeffnagel
